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台阶仪
台阶仪能够在同一测试平台上运行多种测试,产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测,模式切换可实现全自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析,也可以减少维护成本,从而提高效率。


台阶仪


特点

集合了共焦光学形貌仪WLI白光干涉形貌仪原子力显微镜接触和非接触式双模式表面形貌检测


技术参数


项 目 简 述

参数说明

1.——共焦

 

l可快速垂直扫描的旋转共焦技术。

l使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150X) 3D全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉测量>: 72o vs 44o) 。

l具有光学形貌上超高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机, 空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的理想配置。

l在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制

l应用于透明层/薄膜。

l兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。

l长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。

l高稳定性。

 

2.干涉仪(WLI)

 

lZ向高分辨率

l兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模式

lZ向分辨率可独立放大 

l四色CCD 相机,用户可自选的LED光源 (白光绿光蓝光和红光)

l高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机

l快速处理器

l自动对焦

 

3.原子力显微镜

 

l探针扫描可用于大型模板

lXYZ三向可达原子级分辨率

l大压电探针扫描XY: 达到 110x110um


4.变焦

 

l粗糙表面分析

l快速分析

l特点:一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪 高精度原子力显微镜


 





 

脚注信息
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